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广东省东莞市南城区宏远金丰花园明景居A座7号
GF产品在多晶硅制造工艺中潜在的应用
GF产品在多晶硅制造工艺中潜在的应用
GF产品在多晶硅制造工艺中潜在的应用段
多晶硅生产合成的主工艺段:
第一段  HCl气体:
氢气和氯气来自烧碱副产物,在石墨反应器燃烧生成HCL,水吸收后得到高纯盐酸。
氢气管线可以用GF公司PP-H
60度6bar的HCl液体可以用GF公司PP-H
我们替代的原有设计材质为FR-PVC和钢衬聚丙烯(PO)。
第二段 三氯氢硅(气液混合物):
硅粉与HCl气体在400 度条件下燃烧
此段不能采用GF产品,一般采用304L管,
第三段 精馏提纯:
一般设26个精馏塔,产生大量尾气;
第四段 还原:
还原工艺主流程中使用316 钛管,不能采用GF产品;
辅助流程中有脱盐水制备和使用,可以用GF的UPVC 、PP-H或PVDF 。
第五段 尾气吸收:
尾气(含HCl气体、CaO粉尘、烟尘等)多来自精馏提纯段。
水洗过程中,俄罗斯工艺用石灰乳浆液(10%的石灰乳浆液,温度20度,工作压力10bar 以下)吸收尾气,原有设计上采用钢衬四氟管。
水洗过程中,中方技术用水或碱液(32%的NaOH ,温度20度,工作压力10bar 以下)液吸收尾气,原有设计上采用FR-PVC 管。
目前我们推荐采用GF的PP-H.
第六段 CDI分离:
主工艺得到的产品是混合物,含有三氯氢硅、四氯化硅、HCl干气体等多种成分,需要进行分离。
分离技术一般来自美国(化工设计院不作)。
分离工艺中有脱盐水输送管路,材料有可能与后处理段的超纯管路材料相同,也可能是稍低一等的材质GF PP-H 或PP-CDB 。
分离工艺中大量的超纯水,  可以采用GF的PVDF 。

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